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軟物質微納加工實驗室

  • 機構承擔人

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  • 張艷 室(shi)主任顧問/光刻(ke)(ke)與蝕刻(ke)(ke)建設項目師 

    配合領(ling)導管控服務平(ping)臺啟動的(de)(de)每天行政監察(cha);負責(ze)管理無掩(yan)模智能機械直(zhi)寫光刻機、表現亞鐵離子刻蝕(shi)體統(tong)、MOS級Piranha及HF結垢的(de)(de)清洗(xi)自然通風櫥-1、轉(zhuan)動擦拭道(dao)路漂洗(xi)機、勻膠旋(xuan)涂儀、二氟化氙(xian)刻蝕(shi)機、UV紫外(wai)線臭(chou)氧的(de)(de)危害(hai)擦拭機等機

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  • 熊榮(rong)欣(xin) 光(guang)刻(ke)與蝕刻(ke)項目(mu)師 

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  • 張超 膠片與器材工(gong)作師  

    承當磁(ci)控濺射pet薄膜火(huo)成(cheng)(cheng)巖程序(xu)、電子(zi)(zi)設備束火(huo)成(cheng)(cheng)巖程序(xu)、更快(kuai)熱處里程序(xu)、微控楔鍵(jian)合(he)機(ji)、觸碰(peng)角精確檢測儀、集成(cheng)(cheng)電路工(gong)藝(yi)電子(zi)(zi)器件研究(jiu)檢測儀、人工(gong)手動開啟(qi)機(ji)組測試探針臺、Lift-off通風工(gong)作櫥等機(ji)

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  • 何(he)金金 透氣膜與元件市政技術(shu)人員  

    提(ti)供保護膜壓力測試圖片裝置(zhi)、橢偏(pian)儀、晶元分割機(ji)、Parylene沉(chen)淀(dian)(dian)積(ji)累(lei)模式的、等(deng)鋁離子體改善檢(jian)查(cha)是否色譜沉(chen)淀(dian)(dian)積(ji)累(lei)模式的、磁控濺(jian)射聚酰亞胺(an)膜沉(chen)淀(dian)(dian)積(ji)累(lei)模式的等(deng)機(ji)器

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  • 陸盛楠  膠(jiao)片與元器市政(zheng)技術工程師  

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  • 高珍 聚焦點氦陰陽離子束光學顯微鏡建筑技術員   

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