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要走近“芯片制造”的課程目標,咱們第一堂就到華力上課吧!

時(shi)間:2021-10-08瀏覽:142設置

“紙上得來終覺淺,絕知此事要躬行。”在我國,微納加工的技術水平仍是有待攻克的難題,是芯片制造業的核心關鍵。由火狐體育物質火狐體育APP開設的核心課程“軟物質微納加工(含實驗)”旨在通過實驗來學習微納加工基本原理。在設課之初,本門課程便將“學以致用”納入重點進行考量,利用軟物質微納加工實驗室的平臺資源,學期前8周進行密集式設備培訓,再8周分組開展生物芯片或MEMS器件的實驗,最后2周作器件封裝測試。同學們在學習軟物質微納加工理論知識的同時,亦將獲得多種軟物質微納器件的設計與加工的經驗,除了有助于科研,更是以“人才培養”為目標的一門硬課。

 在2021年秋學期,授課老師王宏達教授和劉一凡教授安排師生共赴全球第五大半導體芯片生產商上海華虹集團子公司上海華力開啟特別的“第一堂課”。兩位(wei)授(shou)課老師認為,既(ji)然(ran)課程(cheng)(cheng)要學做微納器件,最好(hao)的(de)方式就是近(jin)距離(li)看見產(chan)業(ye)芯片(pian)制造過(guo)程(cheng)(cheng),了(le)解實驗與應用(yong)(yong)的(de)差異,也能(neng)找(zhao)到研(yan)究(jiu)生所從(cong)事的(de)科研(yan)對未來半導(dao)體行業(ye)的(de)貢獻和“學以致用(yong)(yong)”的(de)意義。

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上(shang)科大師(shi)生與課(ke)程教師(shi)

上海華力研發一部(bu)王(wang)部(bu)長(chang)(左一)合影


這是本課程第二次在上海華力開展學期第一堂課。2021年9月17號早上9:30,在授課講師研發一部部長王博士與人力資源部施女士的帶領下,上科大24名同學,多位實驗助教、軟物質微納加工中心工程師以及兩位授課教授一同進入“教室”——上海華力研發樓。本次課程分為三個部分:

 在第一部分,同學們走(zou)進了(le)(le)(le)華虹集(ji)(ji)團展(zhan)(zhan)廳(ting)。在解說員的(de)(de)帶領下(xia),師(shi)生們了(le)(le)(le)解了(le)(le)(le)知名(ming)的(de)(de)“909”工程(cheng)以及華力半(ban)導(dao)體集(ji)(ji)成電路(lu)(lu)產業(ye)的(de)(de)發展(zhan)(zhan)歷程(cheng)、并通過(guo)虛擬視(shi)頻和歷史物品,認識華力二(er)十多年以來(lai)的(de)(de)歷史背景(jing)和重大(da)意義(yi)。師(shi)生們也觀看了(le)(le)(le)華力所(suo)生產的(de)(de)芯片(pian)在各類設備(bei)中(zhong)的(de)(de)應用(yong),對半(ban)導(dao)體微(wei)納加工和集(ji)(ji)成電路(lu)(lu)有了(le)(le)(le)更深(shen)入的(de)(de)理解和更濃厚的(de)(de)興趣(qu)。           

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【第一節】同學參觀展示中(zhong)心內的重要歷(li)史物品,感受中(zhong)國芯片行業的歷(li)史與文化


在(zai)第二部分,同學們(men)(men)換上潔凈服和(he)防靜電鞋,參(can)觀了(le)(le)工(gong)藝(yi)水平(ping)覆蓋28納米(mi)技術節(jie)點的(de)(de)全自動(dong)芯(xin)片(pian)(pian)生產(chan)(chan)線。講解員詳細介紹了(le)(le)廠房的(de)(de)布局規劃,芯(xin)片(pian)(pian)的(de)(de)制作(zuo)工(gong)藝(yi)、生產(chan)(chan)環(huan)境以及工(gong)程師的(de)(de)工(gong)作(zuo)模式,同學們(men)(men)近距(ju)離(li)地(di)接(jie)觸了(le)(le)前沿(yan)半導體生產(chan)(chan)線,學習(xi)到了(le)(le)現代半導體的(de)(de)先進工(gong)藝(yi)和(he)生產(chan)(chan)規模。

在第三部分(fen)即交流會上,兩位華(hua)力(li)講(jiang)師介紹了(le)華(hua)力(li)公司的(de)基本概(gai)況和未(wei)來規劃(hua)。隨后,師生(sheng)們和華(hua)力(li)工作(zuo)人員在芯片加工工藝(yi)方面(mian)進(jin)行了(le)深入地討論,使(shi)同學們對微納加工工藝(yi)有了(le)更深刻(ke)的(de)認識。已經(jing)入職華(hua)力(li)的(de)上科大物質火狐體育APP畢業生(sheng)王(wang)鵬(peng)博士向同學們分(fen)享了(le)學習和工作(zuo)經(jing)歷,為(wei)同學們答疑解惑。          

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【第三節】上科大(da)校友(王鵬博士,2020年(nian)(nian)畢業(ye)于硅酸鹽所,2015-2016學年(nian)(nian)在上科大(da)培養)、華力人員同師生展開座談(tan)會


經(jing)過實(shi)地探訪上海華(hua)力芯片廠,師生們表示(shi)收益良多(duo)。選(xuan)擇(ze)收錄(lu)同學的課后感想:

 

課后感受


張憶文(wen) (2020級(ji)碩士研究生) :我是(shi)李(li)軍老師組的(de)火狐體育官方(fang)網(wang)站,軟物質加工這門(men)實(shi)驗課給我耳目一新(xin)的(de)感覺。來(lai)到(dao)上海(hai)華力,作為中國(guo)半導(dao)體企(qi)業(ye)的(de)龍頭企(qi)業(ye),它所展示的(de)企(qi)業(ye)風貌,除(chu)了(le)專注研發(fa),技術(shu)革新(xin),更(geng)(geng)有民族復(fu)興(xing)的(de)家國(guo)情懷,學立(li)(li)身,更(geng)(geng)學立(li)(li)人。
 
陳(chen)葉偉(2019級碩(shuo)士研(yan)究生):我(wo)是林(lin)國強教授組的(de)(de)(de)(de)火(huo)狐體(ti)育官(guan)方(fang)網站,對(dui)華虹集團的(de)(de)(de)(de)宣傳片(pian)和(he)芯(xin)(xin)片(pian)視(shi)頻讓我(wo)對(dui)于芯(xin)(xin)片(pian)加(jia)(jia)(jia)工制造有了更加(jia)(jia)(jia)全面(mian)的(de)(de)(de)(de)概(gai)念,在和(he)研(yan)發部(bu)門(men)的(de)(de)(de)(de)老師和(he)學(xue)(xue)長的(de)(de)(de)(de)交流過程中也對(dui)目(mu)前的(de)(de)(de)(de)半導(dao)體(ti)行業(ye)從業(ye)方(fang)面(mian)有了更加(jia)(jia)(jia)清晰的(de)(de)(de)(de)認(ren)識,也更加(jia)(jia)(jia)珍惜此次課程的(de)(de)(de)(de)學(xue)(xue)習,希望可以在進一(yi)步實際制造芯(xin)(xin)片(pian)的(de)(de)(de)(de)過程中利用自己所學(xue)(xue)的(de)(de)(de)(de)已有知識嘗試(shi)思考解決出(chu)現的(de)(de)(de)(de)問題,學(xue)(xue)以致用。
 
吳凡(2019級碩士研究生(sheng)):我的(de)導師是唐述(shu)杰老師,第一堂課有幸來到華(hua)力(li)參(can)觀。在(zai)廠(chang)區的(de)參(can)觀通(tong)道里,我們看到了(le)(le)自動(dong)化的(de)運作模(mo)式(shi),先進的(de)生(sheng)產(chan)(chan)環境,讓人驚(jing)嘆(tan)。隨后的(de)與師兄(xiong)的(de)經驗交流,也(ye)(ye)讓我了(le)(le)解了(le)(le)華(hua)力(li)的(de)培養方(fang)式(shi),和芯片的(de)生(sheng)產(chan)(chan)流程。此次的(de)參(can)觀著實令我獲(huo)益匪淺,十分感(gan)謝學校和華(hua)力(li)提供這次機會,也(ye)(ye)感(gan)謝老師和助教們的(de)活動(dong)安排。
 
郭志強(2020級碩士(shi)研究生):我(wo)的(de)(de)(de)導師是柳仲楷老(lao)師,本(ben)學期的(de)(de)(de)軟物(wu)質加工(gong)課(ke)一開課(ke),老(lao)師帶我(wo)們(men)來到了上海華(hua)力(li)參觀。華(hua)力(li)28nm工(gong)藝(yi)的(de)(de)(de)12英寸晶圓加工(gong)廠,技術工(gong)藝(yi)在大陸已經非(fei)(fei)常領先,廠區(qu)自動化程(cheng)度(du)非(fei)(fei)常好,幾公里長(chang)的(de)(de)(de)自動化搬運系統(tong)軌道讓人印象(xiang)深刻(ke)。在企業發展歷程(cheng)介紹中,可(ke)以感受到國家(jia)戰略制定(ding)者的(de)(de)(de)高瞻遠矚,以及20多年來華(hua)虹(hong)人攻堅克(ke)難中蘊(yun)含著的(de)(de)(de)華(hua)虹(hong)精神,正是這上下同心(xin)共(gong)同努力(li),才能夠在種種困(kun)境中將(jiang)大陸本(ben)土集成電路制造業發展起來。
 
劉仕榮(2020級碩(shuo)士研(yan)究生(sheng)):我是馮繼(ji)成老師組(zu)的(de)火狐體育官(guan)方(fang)網站,我國(guo)光刻技術(shu)起步晚,成熟的(de)光刻機制備(bei)工藝并不完善,目前能先(xian)利用國(guo)外已有設備(bei)進行(xing)大規模工廠(chang)生(sheng)產(chan),已經(jing)可(ke)以在(zai)很(hen)大程度(du)上減輕國(guo)內(nei)這一領域對國(guo)外的(de)依賴性。我們需要(yao)明白,在(zai)利用國(guo)外設備(bei)做出如此成就的(de)同(tong)時,必須時刻銘記高端(duan)技術(shu)的(de)重要(yao)性,只(zhi)有把核(he)心(xin)技術(shu)掌握(wo)在(zai)自(zi)己手中,才能實(shi)現真正(zheng)的(de)獨立富強。

供(gong)稿|王宏達、劉一凡

排版|張(zhang)啟洋


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